真空熔煉爐怎么才能操控好　　真空熔煉爐使用時(shí)怎么才能操控好，發(fā)揮其效果，真空熔煉爐廠家八佳建議你注意好以下幾點(diǎn)就行：　　一、預(yù)合金化　　向鋼液參加一種或幾種合金元素，使其到達(dá)成品鋼成分規(guī)格要求的操作過(guò)程稱(chēng)為合金化。多數(shù)情況下脫氧和合金化是一起進(jìn)行的，參加鋼中的脫氧劑一部分消耗于鋼的脫氧，轉(zhuǎn)化為脫氧產(chǎn)品排出;另一部則為鋼水所吸收，起合金化效果。在脫氧操作未悉數(shù)完成前，與脫氧劑一起參加的合金被鋼水吸收所起到的合金化效果稱(chēng)為預(yù)合金化?！　《?、成分操控　　保證成品鋼成分悉數(shù)契合標(biāo)準(zhǔn)要求的操作。成分操控貫穿于從配料到出鋼的各個(gè)環(huán)節(jié)，但重要的是合金化時(shí)對(duì)合金元素成分的操控。對(duì)優(yōu)質(zhì)鋼往往要求把成分精確地操控在一個(gè)狹窄的范圍內(nèi);一般在不影響鋼性能的前提下，按中、下限操控?！　∪⑷刍凇　掍摰娜刍谥饕菍?duì)平爐和電爐煉鋼而言。電弧爐煉鋼從通電開(kāi)端到爐料悉數(shù)熔清停止、小型真空熔煉爐煉鋼從兌完鐵水到爐料悉數(shù)化完停止都稱(chēng)熔化期。熔化期的使命是盡快將爐料熔化及升溫，并造好熔化期的爐渣?！　∷?、復(fù)原期　　普通功率電弧爐煉鋼操作中，一般把氧化晚期扒渣完畢到出鋼這段時(shí)間稱(chēng)為復(fù)原期。其主要使命是造復(fù)原渣進(jìn)行分散、脫氧、脫硫、操控化學(xué)成分和調(diào)整溫度。

　　真空燒結(jié)爐的常見(jiàn)故障應(yīng)急方案大全：　　一、冷卻水異?！　?、確認(rèn)加熱電源已停止?！　?、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來(lái)?！　?、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水?！　?、在高溫（超過(guò)200℃即視為高溫）時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。　　二、壓縮空氣的停止　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作?！　?、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來(lái)。　　三、突然停電　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源?！　?、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)?！　∷?、加熱電源掉電　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警?！　?、接地故障。　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好?！　?、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)（此真空度容易發(fā)生放電）。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。　　五、充氣氣體（氬氣或氮?dú)猓┩Ｖ埂　?、抽真空開(kāi)始前，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞?！　?、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查?！　?、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。　　4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量?！　×?、真空室壓力惡化　　1、真空排氣時(shí)間比通常長(zhǎng)時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來(lái)進(jìn)行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況?！　?、通過(guò)壓力上升測(cè)試或者用氦氣檢漏來(lái)確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。

　　真空燒結(jié)爐使用時(shí)的注意事項(xiàng)：　　1、由于模具一般由用戶(hù)自備，模具材料基本上選用高純石墨，其耐壓極限為40MPa，建議用戶(hù)使用在30MPa以下比較安全，加壓前應(yīng)計(jì)算模具上、下沖頭的面積，再換算成壓力，具體公式如下：　　系統(tǒng)允許加壓（噸）=上或下沖頭面積×30MPa　　2、熱電偶為鎢錸型，使用過(guò)會(huì)發(fā)脆，不能接觸。如損壞應(yīng)及時(shí)更換。其型號(hào)是W2型?！　?、冬天應(yīng)注意循環(huán)水的保暖問(wèn)題，否則易發(fā)生水管爆裂?！　?、使用后爐體應(yīng)保持真空，因爐內(nèi)保溫層易受潮，保真空這樣下次抽真空會(huì)快些?！　?、因設(shè)備較復(fù)雜，建議專(zhuān)人使用，專(zhuān)人負(fù)責(zé)，對(duì)新手嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn)，用后檢查，操作使用要有記錄等設(shè)備使用規(guī)定?！　?、本熱壓爐也可當(dāng)作真空燒結(jié)爐使用，用于真空燒結(jié)爐時(shí)注意，在爐內(nèi)放置坩堝后，在蓋上保溫屏蓋后不要忘記再蓋其中間的小蓋。否則易燒損電爐?！　?、操作前應(yīng)做到清潔觀察窗玻璃，清潔爐內(nèi)壁，觀察水壓情況，觀察爐內(nèi)石墨是否有損壞，上電后觀察儀表顯示是否正常，測(cè)試液壓系統(tǒng)能否正常工作。　　8、電爐使用一年后應(yīng)將儀表后送計(jì)量部門(mén)進(jìn)行校對(duì)。

　　真空燒結(jié)爐使用,謹(jǐn)記這些小技巧可延長(zhǎng)其壽命　　真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過(guò)熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研單位對(duì)難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。安裝電爐的場(chǎng)所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周?chē)目諝鈶?yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚(yáng)起灰塵等?！　≌婵諢Y(jié)爐的日常使用技巧：　　1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好?！　?、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。　　3、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無(wú)誤。　　4、檢查電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象?！　?、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆?！　?、真空電爐各閥門(mén)必須在關(guān)閉位置?！　?、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位?！　?、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭?！　?、報(bào)警鈕放在開(kāi)位?！　?0、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶(hù)在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來(lái)水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。

　　你知道真空甩帶爐的使用注意事項(xiàng)有哪些嗎　　真空甩帶爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過(guò)熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對(duì)難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。由八佳廠家給大家介紹一下甩帶爐的使用注意事項(xiàng)：　　1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好?！　?、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定?！　?、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無(wú)誤。　　4、檢查電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆?！　?、真空甩帶爐各閥門(mén)須在關(guān)閉位置?！　?、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位?！　?、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭?！　?、報(bào)警鈕放在開(kāi)位?！　?0、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶(hù)在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來(lái)水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞?！　∫陨暇褪潜敬螢榇蠹?guī)?lái)的內(nèi)容分享，如果想要了解更多有關(guān)真空甩帶爐的相關(guān)訊息請(qǐng)關(guān)注本網(wǎng)站。

　　真空燒結(jié)爐原理是什么　　真空燒結(jié)爐是一種在高溫下，使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián)，晶粒長(zhǎng)大，空隙(氣孔)和晶界漸趨減少，通過(guò)物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體的爐具?！　∮操|(zhì)合金燒結(jié)原理：將粘結(jié)相，以金屬（Co，Ni）為主，也稱(chēng)金屬陶瓷材料，和陶瓷相（以TiC,TaC,NbC）為基，溫度高于粘結(jié)相而融為一體，達(dá)到這一過(guò)程叫做燒結(jié)工藝?！　Y(jié)爐主要用于陶瓷粉體、陶瓷插芯和其他氧化鋯陶瓷的燒結(jié)，金剛石鋸片的燒結(jié)，也可用于銅材，鋼帶退火等熱處理?！　Y(jié)爐主要應(yīng)用在鋼鐵行業(yè)、冶金行業(yè)、電子行業(yè)等。　　工業(yè)領(lǐng)域燒結(jié)爐涵蓋了市場(chǎng)上大部分的高溫?zé)Y(jié)爐，按照行業(yè)來(lái)分，燒結(jié)爐的種類(lèi)主要有：　　硬質(zhì)合金領(lǐng)域　　真空燒結(jié)爐，低壓(60bar)燒結(jié)爐，真空脫脂燒結(jié)爐，低壓脫脂燒結(jié)爐，低壓脫脂燒結(jié)氣淬爐（20bar）。　　粉末冶金領(lǐng)域　　連續(xù)式網(wǎng)帶燒結(jié)爐（1150度），推桿式燒結(jié)爐（1250度），鋼帶燒結(jié)爐（1000度），回轉(zhuǎn)式燒結(jié)爐等?！　√?yáng)能領(lǐng)域　　另外，真空燒結(jié)爐廠家告訴大家，多晶硅鑄錠爐也屬于燒結(jié)爐的一種。

　　高溫石墨化爐用途是什么　　石墨化提純爐的高溫設(shè)備，又稱(chēng)作高溫石墨化爐，需要石墨化處理的材料還包括碳納米管、核石墨、天然石墨和人造石墨等。石墨化是指高溫下碳原子由雜亂不規(guī)則排列轉(zhuǎn)變?yōu)橐?guī)則排列的六方平面網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，即石墨微晶結(jié)構(gòu)，其目的是獲得石墨高導(dǎo)電、高導(dǎo)熱、耐腐蝕、耐摩擦等的性能?！　∈瘻囟瓤筛哌_(dá)3100℃，溫度越高，石墨化微晶結(jié)構(gòu)發(fā)育越完善，在如此高的溫度下，其他低熔點(diǎn)的原子均以氣體形式排出，從而實(shí)現(xiàn)材料的提純。　　高溫石墨化爐用途：　?。?）可用于石墨粉料的連續(xù)式高溫石墨化提純，并可實(shí)現(xiàn)高溫法與化學(xué)法相結(jié)合的提純處理?！　。?）可實(shí)現(xiàn)高溫下連續(xù)式進(jìn)料和出料，減少了能源消耗，縮短生產(chǎn)周期?！　。?）高溫石墨化爐采用感應(yīng)加熱，溫度可達(dá)2850℃以上?！　。?）采用高溫法和化學(xué)法相結(jié)合的提純方式，可滿足高純度處理要求?！　。?）采用效率高的過(guò)濾系統(tǒng)，能有效捕集提純過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵、腐蝕性氣體等?！　。?）高溫石墨化爐可實(shí)現(xiàn)高溫下連續(xù)式進(jìn)料和出料，減少了能源消耗，縮短生產(chǎn)周期。

　　關(guān)于石墨化爐的分類(lèi)介紹　　按運(yùn)行設(shè)計(jì)方式分類(lèi)分為真空石墨化爐、連續(xù)式石墨化爐二種主要類(lèi)型。　　真空石墨化爐是在“真空”環(huán)境下對(duì)物料進(jìn)行高溫處理的中小型石墨化爐，一般用于實(shí)驗(yàn)室或者小批次生產(chǎn)的裝置，采用電阻加熱形式，溫度可達(dá)3000℃；且溫度均勻性好；特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差小；外循環(huán)冷系統(tǒng)，單爐生產(chǎn)周期短，效率高?！　∵B續(xù)石墨化爐　　連續(xù)石墨化爐其實(shí)不是一種特定的石墨化工藝爐，現(xiàn)有的連續(xù)石墨化爐有多種形式。所謂連續(xù)石墨化工藝是相對(duì)于間歇式石墨化工藝來(lái)講的。所謂的連續(xù)石墨化工藝，一般是指生產(chǎn)中沒(méi)有斷電的過(guò)程，石墨化的產(chǎn)品需要經(jīng)過(guò)一系列的溫區(qū)，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)石墨化?！　∵B續(xù)石墨化爐也有另外一種形式，與內(nèi)串式石墨化法相似，電極在爐中首尾相接，串接成電極柱，電流直接流經(jīng)電極柱產(chǎn)生焦耳熱，從而實(shí)現(xiàn)石墨化?！　∫赃B續(xù)的產(chǎn)出方式生產(chǎn)石墨化制品的爐子，是相對(duì)間歇式石墨化爐而言的，具有許多優(yōu)點(diǎn)，如減輕繁重的體力勞動(dòng)，便于實(shí)現(xiàn)機(jī)械化，連續(xù)化操作性；提高產(chǎn)品質(zhì)量、熱處理均勻；減少產(chǎn)品的搬運(yùn)次數(shù)，掉邊掉角現(xiàn)象可大大減少；改善勞動(dòng)條件，便于消煙排塵；減少保溫料的消耗，一次加入可以密封。　　碳管爐是一種外加熱的小型連續(xù)石墨化爐，主要采用熱提純的原理，用于石墨的高溫提純。其主要采用熱提純的原理，用于石墨的高溫提純?！　∵B續(xù)式石墨化爐爐體為一豎直的長(zhǎng)方體外殼，采用直流電，左右分布兩根電極。當(dāng)兩電極之間加以電壓產(chǎn)生的電流通過(guò)物料后，物料因其自身電阻將電能轉(zhuǎn)換為熱能，物料被逐漸加熱煅燒。隨著物料的下移，物料被逐步加熱到2500～3000℃，進(jìn)行高溫石墨化，發(fā)生碳原子的晶格轉(zhuǎn)變，成為高純石墨化焦。石墨化焦逐步下移，經(jīng)過(guò)冷卻后經(jīng)排料設(shè)備排出?！　?yōu)勢(shì)　　實(shí)現(xiàn)封閉式的連續(xù)生產(chǎn)，自動(dòng)化程度高；爐內(nèi)溫度均勻，石墨化焦石墨化程度高；能耗較低等。此外，該石墨化爐原料為散裝料，產(chǎn)品為散裝石墨化焦。相對(duì)于只能生產(chǎn)一定形狀石墨產(chǎn)品的石墨化爐而言，散裝石墨化焦可根據(jù)不同的工藝要求制作出不同的石墨制品，滿足不同領(lǐng)域的不同生產(chǎn)要求。　　以上就是今天真空石墨化爐廠家為大家?guī)?lái)的分享，如果有需要定制爐子的，歡迎咨詢(xún)我們。

　　關(guān)于真空燒結(jié)爐的兩種結(jié)構(gòu)介紹　　真空燒結(jié)爐采用耐熱鋼制造的真空罐放入電阻爐中，根據(jù)真空熱處理工藝的需要，配接適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)，即成為筒單的真空熱處理爐。是由電阻爐，真空罐硬和真空泵真空悶門(mén)、真空計(jì)等構(gòu)成的真空系統(tǒng)。其熱源在真空的外部，也就是電熱元件設(shè)置在真空罐的外部，工件放在真空罐的內(nèi)部，靠間接加熱?！　≌婵諢Y(jié)爐有以下幾種結(jié)構(gòu)：　　1.鐘罩式結(jié)構(gòu)　　這種結(jié)構(gòu)的真空缺座落在爐底上，整個(gè)真空熔煉爐爐底和真空罐可以借助于電動(dòng)或液壓傳動(dòng)升降，以完成裝出料操作并能縮短冷卻時(shí)間。也可以采取真空罐和爐底固定不動(dòng)，罩式爐體升降的方法來(lái)完成進(jìn)出料操作等，但是爐體升降較為復(fù)雜。采用哪一種方法，要根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況而定?！　?.雙真空結(jié)構(gòu)　　這種結(jié)構(gòu)不僅真空罐內(nèi)部被抽成真空，而且真空罐外部的真空熔煉爐爐體部分也被抽成真空。這樣，就可以減少真空鑲承受的壓力，避免真空罐外壁氧化和變形，延長(zhǎng)了真空罐的使用壽命?！　≡谑褂脮r(shí)還要注意，真空罐是真空燒結(jié)爐的關(guān)鍵性部件。由于真空罐須在高溫和一個(gè)大氣壓的外壓條件下工作，所以，真空罐的材料應(yīng)具備良好的熱穩(wěn)定性和耐氧化性，間接性能要好，焊縫不易產(chǎn)生氣孔、開(kāi)裂，保證高溫氣密性。材料成分中的元素蒸氣壓要低，防止合金元素在高溫、高真空下?lián)]發(fā)。

　　真空熔煉爐不能熱處理的原因是什么　　我們?cè)谑褂谜婵杖蹮挔t的時(shí)候，也會(huì)面臨有些熱處理工藝在真空爐上無(wú)法完成的問(wèn)題，究其原因，大致有兩個(gè)方面：　　一是廠家按照標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的真空爐，雖然各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)合格，但在生產(chǎn)真空爐的過(guò)程中沒(méi)有全方面系統(tǒng)地去考慮熱處理工藝問(wèn)題，導(dǎo)致了真空熔煉爐參數(shù)和熱處理工藝參數(shù)不匹配?！　《钦婵諢崽幚砉に囘^(guò)程存在缺陷，無(wú)法實(shí)現(xiàn)想要的結(jié)果。在這方面洛陽(yáng)八佳電氣科技股份有限公司做了大膽的嘗試與創(chuàng)新，該公司把熱處理工藝制定與真空熔煉爐制造有機(jī)的結(jié)合在一起，效果明顯?！　÷尻?yáng)八佳電氣科技股份有限公司專(zhuān)注于真空熔煉爐、真空甩帶爐、等產(chǎn)品銷(xiāo)售，致力于打造優(yōu)質(zhì)、創(chuàng)新的團(tuán)隊(duì)，秉持安全為主的理念，產(chǎn)品和服務(wù)覆蓋于各行各業(yè)。

　　真空甩帶爐是如何工作的　　真空甩帶爐是制備和開(kāi)發(fā)亞穩(wěn)材料（如非晶材料）的專(zhuān)用設(shè)備。該設(shè)備除具備感應(yīng)爐的全部特點(diǎn)外，還具有制備大塊非晶和金屬薄片的功能，適用于各種非晶和微晶材料的研究和驗(yàn)證。它廣泛應(yīng)用于新型稀土永磁非晶軟磁材料和納米材料的科學(xué)開(kāi)發(fā)和應(yīng)用研究。下面了解一下它吧?！　?、真空室：真空甩帶爐采用304板組焊而成并做表面處理，爐門(mén)上裝有大尺寸觀察窗，既滿足高真空要求，又便于觀察實(shí)驗(yàn)情況?！　?、甩帶裝置：采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，無(wú)極調(diào)速，密封采用磁流體密封裝置，銅棍拆卸方便。轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，噪音極低。　　3、坩堝自動(dòng)升降系統(tǒng)：采用伺服電機(jī)升降，可根據(jù)不同材料設(shè)備不同噴帶參數(shù)。　　4、氣路系統(tǒng)：真空甩帶爐由電磁閥、壓力罐、手動(dòng)閥門(mén)和管路組成，　　5、機(jī)殼：結(jié)合國(guó)內(nèi)外設(shè)備外觀經(jīng)驗(yàn)，根據(jù)自身設(shè)備特點(diǎn)，設(shè)計(jì)出合理機(jī)殼，外表噴塑處理；　　6、熔煉電源：真空甩帶爐定制的專(zhuān)用熔煉電源，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)小巧；　　7、觸摸屏+PLC控制，可視化操作界面。

　　氣相沉積爐的優(yōu)勢(shì)有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測(cè)溫?zé)犭娕?，是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢(shì)介紹。　　電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)??；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；　　多級(jí)尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高。